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三星成功流片全球第一顆20nm工藝試驗芯片

2011-07-14
來源:Csia

  三星電子日前宣布,已經成功實現了20nm工藝試驗芯片的流片,這也是迄今為止業內最先進的半導體制造工藝。
  
  三星電子此番利用了美國加州電子設計自動化企業CadenceDesignSystems提供的一體化數字流程RTL-to-GDSII
  
  。這套基于Encounter的流程和方法完全能夠滿足三星20nm試驗芯片從IP集成到設計驗證的復雜需求,包括Encounter數字部署系統、EncounterRTL編譯器、Incisive企業模擬器、Encounter電源系統、QRCExtraction提取工具、Encounter計時系統、Encounter測試與物理驗證系統、EncounterNanoRoute路由等等。
  
  三星的試驗芯片由ARMCortex-M0微處理器和ARMArtisan物理IP組成,不過三星并未透露采用20nm工藝制造的這顆芯片包含了多少晶體管、在核心面積上又有多大。
  
  另據了解,三星20nm工藝將使用第二代后柵極(GateLast)和高K金屬柵極(HKMG)技術,第二代超低K電介質材料,第五代應變硅晶圓,193毫米沉浸式光刻工藝。
  
  盡管只是剛剛流片成功,三星的20nm早期工藝設計套裝(PDK)已經向客戶開放,方便他們開始著手下一代新工藝產品的設計。
  
  三星和Cadence公司此前就已經有過深入合作,包括在IBM領導的CommonPlatform(通用平臺);聯盟下的3228nm工藝,以及低功耗HKMG技術等等。

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