離子束技術是一種主要應用于材料科學、半導體產業的先進技術,并且在生物學領域的削切和材料沉積應用也日益廣泛。離子束系統為大型半導體制造商實現商業化制造,已經有超過20年的歷史。這些離子束系統可以利用高能離子束進行刻蝕或濺射應用,也可以利用低能離子束用于成像應用。此外,離子束技術還廣泛用于透射電子顯微鏡的樣品制備。
盡管離子束技術的主流應用仍然是半導體產業,但是,現在這些設備的應用領域已經擴展至地質、法證、生物、醫藥、合成材料、陶瓷以及冶金等領域。當其聯合掃描電鏡(SEM)技術開發出雙束聚焦離子束系統之后,在材料科學和生物科學領域的應用變得更加廣泛。此外,離子束技術也在持續發展進步,以滿足納米技術和材料表征應用的需求。未來數年,這些應用將為全球離子束技術市場帶來廣闊的發展空間。
據麥姆斯咨詢報道,2017~2025年,全球離子束市場的復合年增長率可達7.2%,市場規模將從2016年的3.67億美元增長至2025年的6.791億美元。
介電膜鍍膜仍將是離子束技術的主要應用
離子束技術按應用可主要細分為:體聲波(BAW)濾波器的頻率微調、聲表面波(SAW)濾波器的表面修飾、薄膜磁頭的厚度和極寬校正以及介電膜鍍膜。其中,介電膜鍍膜應用占據了全球離子束技術市場營收的主要份額,在2016年占據整個市場的32%,預計將在2017~2025年期間以7.5%的復合年增長率引領市場。
BAW濾波器和SAW濾波器應用細分市場也占據了離子束技術市場的較大份額,得益于全球范圍內智能手機及其它移動計算設備的高速增長,這兩個細分市場預計將在預測期內繼續保持穩定的增長趨勢。
亞太地區仍將是離子束技術未來發展的前沿
就地域而言,亞太地區主導了全球離子束技術市場,2016年,亞太地區占據了全球總市場46.2%的市場份額,預計仍將在未來幾年處于全球市場發展的前沿。亞太地區的市場增長,主要得益于該地區為突破離子束技術限制所進行的廣泛研究和開發。此外,納米技術在中國、日本和印度等新興國家市場的高滲透率,也將推動該地區對離子束技術的需求增長。
北京埃德萬斯離子束技術研究所股份有限公司自主研發的離子束技術應用設備以及多年積累的成熟工藝技術對于非硅MEMS未來的發展和應用具有重要的戰略意義。埃德萬斯正在北京中關村環保科技園建設非硅微納制造工藝技術中心。工藝技術中心瞄準MEMS、集成電路分立器件、第三代半導體以及新材料開發領域,可對客戶提供各種基于新材料、新結構、新工藝的工藝開發與技術轉讓,芯片的生產、代工,以及人員培訓、技術咨詢等各方面的綜合服務。