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Nor Flash的這些問題該怎么解決?

2018-04-10

過去一年,Nor Flash的價格飛漲和前景看好,讓大家對編碼式存儲器重燃了信心,包括兆易創新和旺宏在內的眾多廠商在去年也從中掙到盤滿缽滿。在很多人看來,這種略顯古老的產片沒啥技術含量,但從Nor Flash的發展看來,他們同樣面臨各種各樣的挑戰。


日前,北京大學微納電子學研究學院蔡一茂在一篇名為《NOR Flash:Scaling 的挑戰、可靠性及表征》的演講中,談到了Nor Flash的各種挑戰,現將其摘錄如下,與廣大讀者分享。

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閃存的演變


根據Nor Flash的原理,它是使用CHE來編碼,然后使用FN Tunning 來擦除,而電荷注入機制對這兩個因素的印象很大,我們來分別看一下其考量和解決辦法:


首先看CEH。據了解,CHE的注入對編碼速度和lg有明顯的提升,同時能夠擴大對離子化率的影響(高橫向電場),還能影響收集效率(高垂直電場)。但對CHE來說,如下圖所示,影響他們的因素也有很多。

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為此,可以使用TCAD仿真來模擬CHE注入的影響,提高產品性能。

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TCAD仿真


介乎Flaoting Gate和Bulk之間的FN Tunning同樣也會受到各種因素的影響。

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FN Tuneling

這時候使用MLC方案則能完美解決相關問題。

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SLC和MLC的對比


對于Nor Flash來說,我們還需要考慮一下可靠性的問題。例如Over-Erase ,比如Nor Disturb,還有隧道氧化和可靠等問題。這就需要一些很好的解決方法。另外,在微縮的過程中,Nor Flash還會面臨Random Telegraph Signals Noise (RTN)等問題。


由上所述,Nor Flash從設計到生產,再到交付到客戶手中,要考量其可靠性、合格性、保持性,同時還要經過保持特性失效分析。經過以上重重考驗的NorFlash才能滿用戶對使用溫度(55度),斷電數據保持時間>10年,擦寫次數>10萬次等多方面的需求。


為了幫助讀者更好的了解Nor Flash的相關技術挑戰和解決方案,我們提供了蔡教授的完整PPT下載,點擊“閱讀原文”,注冊后即可下載,前30名用戶還可獲贈泰克官方整理的完整印刷版《半導體器件的表征及可靠性研究交流會匯編》!


希望我國的Nor Flash產業能夠快速發展,更上一層樓。

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