據麥姆斯咨詢報道，近日，位于英國劍橋的初創公司 Flusso 推出了新款流量傳感器 FLS110，尺寸僅為 3.5 mm × 3.5 mm，號稱是全球最小尺寸的 MEMS 流量傳感器。

　　目前，流量傳感器的目標應用主要包括：真空吸塵器、空調機組和其它消費類電器的有源濾波器監測，工業和家用氣體檢測產品及系統的管道堵塞檢測，消費類和工業類應用的氣泵監測與控制，以及如智能吸入器、健身監測面罩等便攜式醫療設備。

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　　Flusso 的流量傳感器利用了 CMOS MEMS 硅基平臺，同時還具備額外的可編程性和可配置性。該流量傳感器采用微電子技術進行封裝和組裝，可為每月數千萬個部件的制造提供高性能和可擴展性。

　　該傳感器在旁路結構中測量流量，測量范圍較廣，從 0.001 標準升 / 分鐘到超過 500 標準升 / 分鐘皆可涵蓋。同時，該傳感器可提供完全溫度補償信號。

　　根據應用需求、設計指南以及應用工程支持，Flusso 提供的固件和軟件可配置和定制不同的 FLS110 操作模式，以幫助客戶縮短新產品的開發周期。

　　FLS110 集成于 6 引腳 DFN 封裝中，經回流焊，由自動產品組裝線完成編帶和卷盤后發貨。

　　Flusso 現已提供 FLS110 樣品，并與產品評估套件一起提供。該產品將于 2021 年上半年開始量產。

　　Flusso 成立于 2016 年，從劍橋大學分離出來，致力于開發用于低成本，大批量應用的流量傳感解決方案。2020 年中期，Flusso 完成了其嚴重超額認購的 A 輪融資——570 萬美元，而英國和其他許多國家則處于鎖定狀態。該投資資金將使公司將其 FLS110 流量傳感器投入批量生產。

　　由 Florin Udrea 教授（CamSemi、Cambridge CMOS Sensors、Cambridge Microelectronics 以及 Cambridge GaN Devices 的聯合創始人）、Julian Gardner 教授（Cambridge CMOS Sensors 和 Sorex 的聯合創始人）、John Coull 博士以及 Andrea De Luca 博士共同創立，公司所有傳感器專家都具有豐富的半導體行業經驗。

　　此外，Flusso 邀請到對經營半導體初創公司具有豐富經驗的企業家 Robert Swann 擔任董事長，也邀請了前霍尼韋爾安全與生產力解決方案部門技術與合作副總裁 Cleopatra Cabuz 加入公司。

　　該公司曾于 2020 年 6 月獲得 570 萬美元的 A 輪融資，此輪融資旨在大規模生產 Flusso 號稱全球尺寸最小的 MEMS 流量傳感器。這輪融資由 Parkwalk Advisors 和 Foresight Williams Technology EIS 基金領投，24 Haymarket、Cambridge Enterprise、Martlet 和 Cambridge Angels 等公司共同跟投。