薄膜應力按作用方向的不同，被劃分為負值的壓應力和正值的張應力，當薄膜相對于基底膨脹時，則處于壓應力狀態(tài)，而當薄膜相對于基底收縮時，則處于張應力狀態(tài)。

　　圖片

　　薄膜的殘余應力由熱應力和內(nèi)應力組成，熱應力與內(nèi)應力的形成機理如下所述。

　　大多數(shù)薄膜在高于大氣環(huán)境溫度的真空環(huán)境中制備完成，在逐漸冷卻至室溫的過程中，由于薄膜與基底、薄膜與薄膜之間的熱膨脹系數(shù)不同，使得薄膜系統(tǒng)中各部分之間的膨脹程度有所不同，這種由溫度變化引起的薄膜系統(tǒng)中各部分之間的膨脹差異稱為熱應變，從而產(chǎn)生了熱應力。薄膜內(nèi)應力的形成機理的復雜程度遠大于熱應力。

　　薄膜內(nèi)應力的形成、作用方向和作用方向的變化與薄膜的制備方式和工藝條件息息相關(guān)，不同的制備方式和工藝條件會作用在薄膜生長過程中，通過影響薄膜中的晶粒、晶界、雜質(zhì)、空位和表面應力等因素來改變薄膜的結(jié)構(gòu)，薄膜內(nèi)應力的形成是多種機制綜合作用的結(jié)果。

　　光學薄膜設計軟件

　　功能多樣

　　★TFCalc 是一個光學薄膜設計和分析的工具，這里有按順序排列介紹了 TFC 的功能：吸收、有效鍍膜、角度匹配、雙錐形的穿透、黑體光源、色彩優(yōu)化、約束、繼續(xù)優(yōu)化目標、派生目標、探測器、散射公式、電場強度、同等折射率、同等堆棧、獲得材質(zhì)、全局優(yōu)化、組優(yōu)化、發(fā)光體、膜層敏感性、局部優(yōu)化、多重環(huán)境、針優(yōu)化、光學監(jiān)控、光學密度、相位移動、psi、發(fā)光分布、折射率的確定、反射、敏感度分析、堆棧公式、綜合、穿透率、隧道效應、可變材料。

　　創(chuàng)新

　　★TFCalc 軟件是膜系設計軟件中提供創(chuàng)新方法的領導者。例如，TFCalc 允許活動材料-材料的折射率隨著外部影響而改變。這個功能是其它商業(yè)軟件沒有的功能。

　　容易使用

　　★TFCalc 是標準的 windows 和蘋果機程序；薄膜設計工程師利用菜單、對話框和窗口來輸入并顯示結(jié)果。

　　★Software Spectra 努力讓 TFCalc 軟件盡可能的容易使用，特別是對僅僅偶爾使用軟件的工程師來說這一點更加重要。TFCalc 軟件包中包含了大量的設計實例。

　　多種平臺

　　TFCalc 可以在以下計算機和操作系統(tǒng)下工作：

　　★運行 windows 3.1 ，3.11， 95，98，2000，7,XP 的 PC。

　　★運行 System 7 或更新版本的蘋果計算機。

　　★TFCalc 所輸出的檔格式兼容這兩個平臺，讓你和同時可以共享數(shù)據(jù)。