《電子技術(shù)應用》
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日本供應商:中國難以掌握EUV技術(shù),也無法開發(fā)尖端芯片技術(shù)

2022-05-23
來源:半導體行業(yè)觀察

  JSR 是全球最大的半導體生產(chǎn)關鍵材料供應商之一,其首席執(zhí)行官最近表示,盡管中國推動自給自足,但缺乏行業(yè)基礎設施將使中國“非常難以”開發(fā)領先的芯片制造技術(shù)。

  日本半導體公司的美國主管埃里克約翰遜((Eric Johnson))在接受采訪時也表示,他預計芯片行業(yè)的供應瓶頸將持續(xù)到 2023 年。

  美國對制造最先進芯片所需技術(shù)的出口限制促使中國大力投資發(fā)展自己的半導體供應鏈。

  但約翰遜表示,中國將難以掌握基于極紫外或極紫外光刻技術(shù)的復雜芯片制造技術(shù)。

  “我認為中國也很想發(fā)展自己的 EUV 能力,以及這些東西的生態(tài)系統(tǒng)。坦率地說,我認為他們很難做到這一點,”約翰遜說。

  半導體是從智能手機到洗衣機等產(chǎn)品必不可少的產(chǎn)品,已成為華盛頓和北京之間競爭的焦點。周五,喬·拜登 (Joe Biden) 開始了他作為美國總統(tǒng)的首次亞洲之行,他參觀了位于韓國的三星芯片工廠,并強調(diào)了他確保半導體供應鏈安全的愿望。

  EUV 光刻是一種要求很高的工藝,它使用光將微小的集成電路蝕刻到硅晶片上。

  即使中國“得到了一篇關于這種化學物質(zhì)究竟是什么的論文。. . 但如何實現(xiàn)純度、精度和可重復性制造,這都會很難”,Johnson 說。“事情沒那么簡單,他們也沒有供應鏈來支持。”(原文:Even if China “got a paper onexactly what the chemistries were...to manufacture that at the purities, and the precision, and reproducibilityis really tough”, Johnson said. “It’s not that simple and they don’t have the supply chain to support that either.”)

  總部位于東京的 JSR 是光刻膠的領先供應商,光刻膠是用于將電路圖案轉(zhuǎn)移到半導體晶圓上的薄層材料。分析師表示,它擁有全球約 30% 至 40% 的用于制造先進芯片的光刻膠市場,其客戶包括三星、臺灣臺積電和美國英特爾。

  中國是世界上最大的芯片進口國,并一直在大力投資半導體計劃,作為其計劃的一部分,中國原本計劃要求到 2025 年,關鍵技術(shù)的最重要組件實現(xiàn) 70% 的自給自足。但約翰遜表示,“領先的能力需要數(shù)十年的時間和大量資金才能開發(fā)出來。. . 你真的需要像 iPhone 這樣的應用程序來為這些東西買單”。

  不過,約翰遜強調(diào),北京正在積極投資同樣重要的不太先進的芯片制造技術(shù),中國是 JSR 增長戰(zhàn)略的重要組成部分。

  他說,他希望在能夠“尊重”和“負責任地”為中國客戶提供服務與“對美國政府的關切和保護日本利益的關切保持敏感”之間取得平衡。“人們低估了中國有多少機會不依賴于那些非常領先的能力,”他說。

  約翰遜表示,損害全球經(jīng)濟的全球芯片供應瓶頸要到明年才能解決。“新產(chǎn)能上線只是需要時間,而新產(chǎn)能可能要到今年年底或明年才會真正開始產(chǎn)生影響,”約翰遜說。

  他說,他預計該行業(yè)要滿足對汽車用半導體的需求將特別“成問題”,因為它們使用的芯片不太先進,利潤較低,因此吸引的投資較少。

  日本JSR:全球 ArF 光刻膠龍頭

  日本合成橡膠公司(JSR)成立于 1957年,聚焦四大主業(yè):合成橡膠(收入占比 38%)、數(shù)碼解決方案(31%)、塑料(20%)與生命科學(11%),其中數(shù)碼解決方案涵蓋光刻材料、化學機械拋光 CMP 材料等。目前公司光刻膠全球市占率 13%(其中 ArF 光刻膠位居第一)2000-2019 財年公司收入及凈利潤復合增速為 3.9%和 12.7%。2019財年綜合毛利率近 30%,凈利率近 5%,公司研發(fā)投入占營收的 5%。

  自 90 年代起,JSR 將注意力集中在了電子產(chǎn)品材料及半導體材料方面,先后在北美、歐洲、韓國、中國臺灣、中國大陸等地區(qū)設立了光刻膠及平板材料工廠,并逐步推出了新一代的光刻膠產(chǎn)品。

  進入 21 世紀后,JSR 的光刻膠技術(shù)得到了進一步的突破。2004 年通過沉浸式 ArF 首次實現(xiàn)了 32nm 分辨率;隨后 2006 年又與 IBM 進行合作,實現(xiàn)了30nm 的線寬。2011 年 JSR 與 SEMATECH 共同研制了用于 15nm 工藝的 EUV光刻膠;2015 年 JSR 與IMEC 簽署合作意向書,并于次年設立了一家合資企業(yè)(EUV RMQC),進一步推動公司 EUV 光刻膠的研發(fā)進程。

  JSR 的光刻膠業(yè)務市場占有率長期位于世界前列。截至 2019 年末,公司在全球光刻膠領域的市場占有率約為 13%,位居第三,僅次于 KrF 光刻膠龍頭東京應化(27%)與 EUV 光刻膠龍頭美國陶氏化學(17%)。在 ArF 光刻膠市場,JSR 的全球市占率約為 24%,位居第一;在 KrF 光刻膠市場,JSR 全球市占率約為 18%,位居第三。

  在去年九月,日本半導體材料制造商 JSR 表示,它將收購總部位于俄勒岡州的 Inpria,著眼于后者在尖端芯片制造化學品方面的專業(yè)知識。

  據(jù)相關報道,在 2017 年和 2020 年,JSR 參與了 Inpria 的融資, 并擁有公司 21% 的流通股。通過此次交易,JSR 將收購剩余股份,Inpria 將成為 JSR Corporation 的全資子公司。此次收購的執(zhí)行取決于多項條件,包括收到監(jiān)管許可,預計將于 2021 年 10 月底完成。

  JSR 首席執(zhí)行官埃里克約翰遜周五在網(wǎng)上告訴記者,他打算讓 Inpria 在 2022 財年實現(xiàn)盈利。

  JSR 已經(jīng)運營了 60 多年,制造范圍廣泛的功能材料,最近將其業(yè)務和未來擴張重點放在其數(shù)字解決方案上,其中包括半導體材料和生命科學業(yè)務,這兩項業(yè)務的目標都是推動增長,非常適合利用公司在技術(shù)創(chuàng)新方面的優(yōu)勢。JSR 計劃利用在大批量制造、質(zhì)量控制、供應商管理和客戶參與方面數(shù)十年的經(jīng)驗,進一步加強其支持和支持 IC 行業(yè)的能力。

  自2007年成立以來,Inpria一直致力于開發(fā)基于金屬的EUV光刻膠。其主要產(chǎn)品主要由氧化錫組成,使用EUV曝光系統(tǒng)實現(xiàn)了世界上最高分辨率。此外,金屬基光刻膠在干蝕刻過程中的圖案轉(zhuǎn)移性能方面優(yōu)于傳統(tǒng)光刻膠,非常適合半導體量產(chǎn)工藝。

  隨著此次收購的完成,JSR 將把 Inpria 的金屬基光刻膠添加到JSR的光刻膠產(chǎn)品組合中,作為一家支持我們客戶當前和未來技術(shù)的先進材料公司,無縫地提供價值。

  “芯片制造商高度重視 Inpria 的技術(shù),我認為我們正走在一條有希望實現(xiàn)盈利的道路上,”JSR 常務官 Tadahiro Suhara 說。Inpria 在光刻膠領域享有盛譽,包括用于極紫外光刻的光刻膠。光刻膠用于在硅片上印刷電路。隨著半導體變得越來越小,芯片制造商一直需要更復雜的產(chǎn)品。

  JSR 還希望在金屬氧化物光刻膠方面利用 Inpria 的技術(shù),該技術(shù)專為生產(chǎn)下一代半導體而設計。JSR 和其他日本公司在光刻膠領域擁有全球約 90% 的份額。

  Johnson 表示,全球光刻膠市場將在未來十年翻一番,并補充說,持續(xù)積極的投資將是 JSR 保持技術(shù)優(yōu)勢的關鍵。



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