《電子技術應用》
您所在的位置:首頁 > 通信與網絡 > 業界動態 > 中國科大在6G濾波器領域取得重要進展

中國科大在6G濾波器領域取得重要進展

2022-05-25
來源:悅智網
關鍵詞: 6G 濾波器 中國科大

  隨著無線通信從5G向Beyond 5G(B5G)和6G發展,對于6 GHz以上電磁波頻譜的使用國際上還存在爭論,有些國家已經將6 GHz全頻段授權用于Wi-Fi 6E,而更多的國家在考慮把此頻段部分用于蜂窩無線通信(6G)。因此,源于對不同制式和頻段間信號的隔離需求,工作于6 GHz的高品質因數(Q值)聲波諧振器以及高性能濾波器將會成為下一階段無線通信發展的關鍵技術,也是我國6G技術發展必須要自主可控的基礎射頻元器件與芯片。

  近日,中國科學技術大學微電子學院左成杰教授研究團隊在鈮酸鋰(LiNbO3)壓電薄膜上設計并實現了Q值超過100000的高頻(6.5 GHz)微機電系統(MEMS)諧振器,與文獻中現有的工作相比,把Q值提升了2個數量級。相關成果以“Ultra High Q Lithium Niobate Resonator at 15-Degree Three-Dimensional Euler Angle”為題于5月16日在線發表在電子器件領域知名期刊IEEE Electron Device Letters上。

  研究人員提出了一種基于三維歐拉角α在x-cut單晶鈮酸鋰壓電薄膜上設計并制備高頻MEMS諧振器的方法。通過設計諧振器的電極結構,工作于6.5 GHz的S1振動模態被激發,并且當聲波傳播方向(α)位于15°時,諧振器并聯諧振頻率(fp)處的品質因數(Qp)高達131540,對應的諧振器優值k2·Qp和fp·Qp分別達到6300和8.6×1014 Hz(圖1)。

微信截圖_20220525175030.png

  圖1. 新型MEMS諧振器結構設計及性能測試:(a)三維歐拉角的定義;(b)制備的諧振器SEM照片;(c)15°諧振器導納曲線測試結果

  如圖2所示,與近10年其它的工作在類似頻段的諧振器比較,該新型MEMS諧振器把Q值提升了2個數量級,并且首次突破了諧振頻率與Q值乘積(f·Q)這一難以同步提升的諧振器優值極限。更重要的是,相關工作成功發現了利用三維歐拉角可以對鈮酸鋰薄膜介電損耗和聲學損耗進行調控的新機理,為未來微納器件在高頻無線通信、醫學超聲成像、智能信息處理和物聯網傳感器等應用領域打開了更多的可能性。

  微信圖片_20220525175055.jpg

  圖2. 新型MEMS諧振器與近10年其它鈮酸鋰諧振器Q值的比較

  中國科學技術大學微電子學院左成杰教授為論文通訊作者,微電子學院博士生戴忠斌為論文第一作者。此項研究工作得到了國家重點研發計劃和中央高校基本科研基金的資助,也得到了中國科大微電子學院、中國科大微納研究與制造中心、中國科大先進技術研究院和中國科學院無線光電通信重點實驗室的支持。


本站內容除特別聲明的原創文章之外,轉載內容只為傳遞更多信息,并不代表本網站贊同其觀點。轉載的所有的文章、圖片、音/視頻文件等資料的版權歸版權所有權人所有。本站采用的非本站原創文章及圖片等內容無法一一聯系確認版權者。如涉及作品內容、版權和其它問題,請及時通過電子郵件或電話通知我們,以便迅速采取適當措施,避免給雙方造成不必要的經濟損失。聯系電話:010-82306118;郵箱:aet@chinaaet.com。
主站蜘蛛池模板: 天堂网一区 | 国产亚洲综合成人91精品 | 欧美理论影院在线观看免费 | 亚洲日本va中文字幕婷婷 | 欧美日韩一区二区三区高清不卡 | 国产欧美日韩综合精品无毒 | 中文字幕精品一区二区日本大胸 | 国产中文字幕乱人伦在线观看 | 亚洲人成亚洲精品 | 色费女人18女人毛片免费视频 | 欧美高清在线视频一区二区 | 美日韩在线观看 | 国产一区免费在线观看 | 成年看的视频在线观看 | 久久精品国产亚洲综合色 | 欧美日韩国产高清精卡 | 激情欧美一区二区三区 | 在线观看 中文字幕 | 亚洲福利天堂 | 日日日插插插 | 国产无人区卡一卡二卡三网站 | 欧美成人午夜 | 日韩一级特黄 | 国产高清一级毛片在线不卡 | 日韩手机在线视频 | 日日夜夜伊人 | 亚亚洲乱码一二三四区 | 欧美午夜免费观看福利片 | 欧美大成色www永久网站婷 | 视频一区在线播放 | 久青草国产在视频在线观看 | 啪啪网页 | 91麻豆最新在线人成免费观看 | 一级做a毛片在线看 | www.日韩av.com| 欧美三级不卡在线观看视频 | 2021日日摸夜夜添夜夜添影院 | 国内外成人在线视频 | 日本特级黄录像片 | 欧美一区二区视频三区 | 亚洲一区在线观看视频 |