Entegris中國技術中心的落成運營進一步提升了公司的在華技術能力,其四大實驗室所提供的專業技能是打造半導體制造生態圈的關鍵環節。根據半導體協會提供的數據,未來10到20年,中國將成為半導體材料增長最快的地區,這也為半導體生產方面帶來了很大的投資機遇與進展。
作為特種化學品與先進材料解決方案供應商,Entegris在中國市場也有了新的動作。
從左至右依次是:Entegris中國技術中心技術總監江平、Entegris副首席技術長 Montray Leavy、Entegris高級副總裁及首席技術官Jim O’Neill、Entegris執行副總裁及首席運營官Todd Edlund、Entegris執行副總裁及首席財務官Greg Graves、Entegris高級副總裁及首席商務官Michael Besnard、Entegris中國總經理張凱翔、Entegris市場戰略副總裁楊文革
11月13日,Entegris中國技術中心在上海張江舉行了慶典活動,該技術中心配備了四大實驗室:微污染控制應用實驗室、先進材料處理應用實驗室、表面處理和集成應用(SPI)實驗室、分析和計量實驗室,可解決半導體制造生態系統中客戶面臨的各種問題,并提供廣泛的分析和技術支持。
據Entegris執行副總裁及首席運營官Todd Edlund介紹,Entegris主要有三個業務板塊:第一個業務板塊是特種化學品和工程材料,主要是跟與沉積以及清潔業務有關,氣體生產也是這個業務板塊中重要的一部分;第二個業務板塊是微污染控制,微污染控制主要是生產應用于液體和氣體的凈化器和過濾器;第三個業務板塊是先進材料的處理,包括晶片等。
在2018年,Entegris的營業額已達到16億美金,其中8%投入了研發,大約有80%的營收來自于半導體行業相關,20%是半導體以外的領域,例如數據存儲、平板顯示等,不過Todd Edlund表示這個比率是在持續變化中的。
近日,Entegris完成了在對杭州安諾的收購,這是Entegris在中國市場最大的一筆收購,員工團隊已增長至接近5000人。收購安諾提升了Entegris在過濾器生產方面的能力,使其可在微電子、生物醫療、環保廢處理領域提供更高品質的服務。此外,Entegris與湖北晶星、博純材料在TEOS、氣體領域也一直保持著緊密的合作關系。
對于半導體材料來說,污染與缺陷的控制一直是備受關注的領域。
在媒體會上,Todd Edlund提到:“隨著28納米工藝降到今天的7納米,我們對材料中的金屬雜質的容忍度已經下降了1000倍,其中對于晶圓殺手顆粒的尺寸也縮小了將近4倍,這也給Entegris帶來了巨大的機會。”
Entegris中國總經理張凱翔先生表示,Entegris在材料供應上的專長就是生產潔凈的產品。半導體生產中最怕的就是一些污染源,無論是顆粒污染還是金屬污染,所以原物料供應商產品的潔凈度很重要。
Entegris又是如何有效控制污染與缺陷,改善產品良率?
根據Entegris中國技術中心技術總監江平女士的分享,Entegris中國技術中心所配備的四個實驗室可提供一系列本地化的綜合性服務。
微污染控制應用實驗室主要是檢測過濾器的性能,診斷在過濾器應用中,客戶端在生產過程可能出現的問題或者潛在風險。先進材料處理應用實驗室位于無塵等級1000的潔凈室里,它可以提供包括光阻泵、管閥件以及傳感器等各種流體輸送材料的潔凈度和功能的檢測。表面處理和集成應用實驗室主要用于先進制程中晶圓的清洗產品應用和功能測試。分析和計量實驗室則是主要服務于以上三個應用的實驗室,它配備了業界先進的量測設備,著重于高純化學品先進材料和各種過濾膜的理化性能的分析表征,以協助客戶在實際生產過程中有效地控制污染,改善良率。
在兩三年前,Entegris就已經開始制定本地化的策略。如今中國半導體行業已足夠成熟且具備了相應的能力,這也使得Entegris下定決心將技術中心帶到了中國。
Todd Edlund提到:“在沒有建立中國技術中心之前,如果我們想對化學品、過濾器進行測試,就需要將這些東西拿到國外的技術中心,等出了結果之后再帶回給中國客戶。這往往需要耗費幾周的時間。但是現在隨著中國上海技術中心的建立,這項工作的完成時間可以用天來計算,而不像過去要用周來計算。”
在問及為何將技術中心落戶上海時,Todd Edlund認為,上海地區的客戶數量,包括有決策能力的客戶數量和客戶部署工程的能力都是最強的。張凱翔補充:“另一個重要原因是人才,上海是中國最先開始做半導體的地方。此外,Entegris也跟上海復旦大學、同濟大學有一些合作的項目,也是基于人才的培養。”
在今后的國內市場,污染物控制以及計量等領域將會對供應商提出更高的要求。江平女士在媒體會上提到這樣一句話:“預測未來最好的方法就是創造它。”Entegris也將持續關注行業發展需求,并進一步擴大在華實驗室規模,創造具有更多可能性的未來。
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