《電子技術(shù)應(yīng)用》
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日媒稱佳能光刻機業(yè)務(wù)東山再起 挑戰(zhàn)阿斯麥霸主地位

2024-05-17
來源:CNMO
關(guān)鍵詞: 佳能 光刻機 阿斯麥

5 月 17 日,據(jù)日媒報道,佳能公司在半導(dǎo)體光刻機業(yè)務(wù)上已展現(xiàn)出復(fù)蘇的強勁勢頭。盡管過去在與荷蘭阿斯麥和尼康的競爭中,佳能未能成功生產(chǎn)出 ArF 浸沒式光刻機和 EUV(極紫外)光刻機,但近期他們通過推出納米壓印光刻裝置(nanoimprint lithography),成功奪回了在尖端封裝用途市場的主導(dǎo)地位。這一技術(shù)突破使佳能再次站在了微細化技術(shù)的前沿。

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為了與產(chǎn)品線全面的阿斯麥展開競爭,佳能正積極研發(fā)一度放棄的 ArF 干式(Dry)光刻機,為未來的市場崛起做準備。根據(jù)日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省的數(shù)據(jù),阿斯麥在半導(dǎo)體光刻機市場上占據(jù)了超過九成的份額,尤其在 EUV 光刻機領(lǐng)域,其壟斷地位更是無人能及。EUV 光刻機,作為臺積電、三星電子和英特爾等頂尖制造商不可或缺的裝備,其高昂的價格也反映了其技術(shù)的高度和市場的價值。

然而,值得注意的是,即使在最先進的半導(dǎo)體制造過程中,也并非所有層都需要使用 EUV 或 ArF 浸沒式光刻機。對于加工尺寸較大的層,佳能憑借其 i 線光刻機和 KrF 光刻機在市場上占據(jù)了顯著的份額。這些設(shè)備在 CMOS 圖像傳感器、硅和碳化硅功率半導(dǎo)體等領(lǐng)域也有著廣泛的應(yīng)用。

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特別是在尖端封裝領(lǐng)域,佳能的后工序用 i 線光刻機已經(jīng)成為行業(yè)標準。這種設(shè)備在 2.5D/3D 封裝過程中發(fā)揮了關(guān)鍵作用,支持了包括美國英偉達 AI 半導(dǎo)體在內(nèi)的大量需求。憑借這一優(yōu)勢,佳能在臺積電、三星和英特爾等頂尖制造商中贏得了大量訂單。


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