2024年10月31日,美國商務部和美國國家半導體技術中心 (NSTC) 的運營商 Natcast 公司共同宣布了第一個基于美國《芯片與科學法案》推動的芯片研發(R?&D) 旗艦設施的建設計劃,將在紐約州首府奧爾巴尼(Albany)的 NY CREATES運營的奧爾巴尼納米技術綜合體(Albany NanoTech Complex)內,打造CHIPS for America EUV(極紫外)加速器。預計將獲得8.25億美元的擬議聯邦投資的支持。
據介紹,這個EUV加速器將專注于推進最先進的EUV技術和依賴該技術的相關研發。同時,該EUV加速器還將匯集來自整個生態系統的 NSTC 成員,通過為 NSTC 成員提供技術、能力和關鍵資源來加速半導體研發和創新。
值得注意的是,在2023年12月11日,美國紐約州長Kathy Hochul就曾宣布,與包括IBM、美光、應用材料(Applied Materials)、東京電子(Tokyo Electron)等半導體大廠達成一項合作協議,預計將投資100億美元在紐約州奧爾巴尼納米技術綜合體興建下一代High-NA EUV半導體研發中心,以支持世界上最復雜、最強大的半導體的研發。
顯然,此次美國商務部和NSTC是在進一步對該項目進行支持,將該項目打造成美國芯片技術研發的 旗艦設施。
美國商務部長吉娜·雷蒙多 (Gina Raimondo) 表示:“通過第一個擬議的旗艦設施,芯片法案為 NSTC 提供了獲得尖端研究和工具的機會,它的推出代表了確保美國在創新和半導體研發方面保持全球領先地位的一個重要里程碑。芯片法案的研發部分對我們的長期國家安全至關重要,并確保美國仍然是地球上最具技術競爭力的地方。多虧了拜登總統和哈里斯副總統,我們不僅生產了世界上最先進的半導體;我們正在構建一個有彈性的生態系統,為從智能手機到高級人工智能的一切提供動力,維護美國國家安全,并使美國在未來幾十年保持競爭力?!?/p>
“拜登-哈里斯政府的這項 8.25 億美元投資,將鞏固奧爾巴尼作為半導體創新和研發領域的企業家、研究人員和工程師的世界級中心的領導地位,”美國國家經濟顧問萊爾·布雷納德說。
EUV 光刻技術對于制造更小、更快、更高效的微芯片至關重要。隨著半導體行業突破摩爾定律的極限,EUV 光刻技術已成為一項關鍵技術,可實現以前無法實現的 7nm 以下更先進的晶體管的大批量生產。隨著 NSTC 開發能力和計劃,獲得 EUV 光刻研發對于實現其三個主要目標至關重要:1) 擴大美國的技術領先地位;2) 減少原型制作的時間和成本; 3) 建立和維持半導體勞動力生態系統。
美國商務部負責標準與技術的副部長兼國家標準與技術研究所所長 Laurie E. Locascio表示:“NY CREATES 擁有二十年促進有效公私合作伙伴關系的成熟經驗,自成立以來在半導體研發、制造和勞動力發展方面投資超過 250 億美元,具有得天獨厚的優勢,可以支持 NSTC 的使命,即提供一個開放的環境來加速研究,縮短商業化時間,并在美國發展可持續的半導體生態系統?!?/p>
“CHIPS for America EUV 加速器突顯了我們對在美國開發和推進下一代半導體技術的承諾,”Natcast 首席執行官 Deirdre Hanford 說。“通過與 NY CREATES 的合作,Natcast 和 NSTC 成員將能夠獲得基本的 EUV 光刻工具和工藝,以促進更廣泛的研究并加速未來技術的商業化。”
Natcast 和 NY CREATES(一家運營奧爾巴尼納米技術綜合體的非營利組織,致力于推動半導體研發和勞動力發展)預計將為 NSTC 成員建立 EUV 加速器,以進行下一代半導體研發活動。EUV 加速器將于 2025 年開始運營,將使 Natcast、NY CREATES 和 NSTC 成員能夠合作開展研發活動,這對于實現創新半導體技術的更快商業化和加強美國的技術領先地位至關重要。EUV 加速器的主要功能預計將包括:
獲得尖端的 EUV 光刻工具和下一代研發能力,包括高數值孔徑 (NA) EUV 系統,預計到 2025 年將達到標準 NA EUV,2026 年將達到High NA EUV。
召集并促進與行業、學術和政府合作伙伴的合作,以推進技術創新。
專門的 NSTC 現場辦公室,為 Natcast 和 NSTC 成員研究人員提供支持。
支持提供、培養和發展有才華的員工隊伍的計劃。
努力增加 NSTC 會員和參與度,同時與所有 NSTC 設施一起營造開放、協作的研發環境。
CHIPS for America NSTC 原型制造和國家先進封裝制造計劃 (NAPMP) 先進封裝試點設施以及 CHIPS for America 行政和設計設施仍在即將推出。該部門和 Natcast 預計將在未來幾個月內宣布有關選擇附屬技術中心流程的信息。
Natcast 和 NY CREATES 簽署了一份不具約束力的諒解備忘錄 (MOU),預計最終合同的預期期限為 10 年。最終合同需要經過盡職調查、持續談判和完善某些條款。最終合同中包含的條款可能與此次宣布的諒解備忘錄的條款不同。