X射線熒光分析是一種快速、準確而又經濟的多元素分析方法[1]。目前，X射線熒光分析技術已被廣泛應用于地質、冶金、化工、材料、石油、醫療等領域，尤其是能量色散X射線熒光EDXRF（Energy Dispersive X-Ray Fluorescence)光譜儀，由于具有體積小、價格低廉、自動化程度高等優點，已成為普遍多元素同時分析的有力手段。
    EDXRF光譜儀利用X射線熒光對于不同元素具有不同能量的特點，依靠探測器實現對測試樣品中元素的定性、定量分析。隨著電子學技術、計算機科學技術以及半導體材料的發展，特別是嵌入式技術的應用，為X射線熒光光譜儀智能化、小型化及高性能提供了必要的硬件基礎。本文提出了基于S3C2440嵌入式處理器的便攜式EDXRF光譜儀的設計方案，用于分析檢測合金、礦石中的多種元素。
1 方案設計
    便攜式EDXRF光譜儀采用X射線管作為激發源，Si-PIN探測器作為X射線探測器。X射線打到測試樣品后，X射線熒光光量子通過探測器轉變為一定形狀和數量的電脈沖。該電脈沖經前置放大處理后，變為可測電脈沖信號。本方案采用S3C2440高性能的嵌入式處理器，外擴高速A/D轉換芯片AD7676，由S3C2440硬件定時和AD7676組成數字脈沖分析器，將可測電脈沖信號變成數字信號，實現EDXRF光譜的采集。
    S3C2440以ARM920T為內核，支持Windows CE操作系統。本系統基于Windows CE系統上的AD7676驅動程序，在應用程序層控制AD7676的工作，實現了EDXRF光譜的采集、存儲、分析。其整體方案如圖1所示。

2 硬件設計
2.1 AD7676
    AD7676是美國模擬器件公司生產的16位高速（500 kS/s）SAR ADC[2]，內置16位高速采樣ADC、差分輸入結構、內部轉換時鐘、糾錯電路以及串行和并行系統接口。
    AD7676的采樣數據讀取有兩種方式：轉換完成后讀取和采樣中讀取。圖2所示為采樣中讀取方式時序，當AD7676轉換結束后，忙信號變為低電平，保持片選信號為低，使得轉換及讀信號由高變低，此時數據總線上出現上次轉換后的數據。采樣中讀取方式時，在轉換完成后，可同時讀取數據及啟動下一次采樣，消耗時間少，適用于本系統。

2.2 數字脈沖分析器
    數字脈沖分析器由信號處理電路(信號調理、放大)、高速AD轉換器（AD7676）及S3C2440處理器組成，圖3所示為系統電路框圖。

    X射線熒光光量子通過SI-PIN探測器轉變為電脈沖，經調理、前置放大處理后變為可測電脈沖信號傳給AD7676采樣處理。為了保證采樣的正確性，采用基準電壓芯片為AD7676提供基準電壓，同時為了防止電源串入的干擾，采用專用的DC－DC隔離電源使得模擬部分電源與數字處理部分電源隔離。S3C2440處理器與AD7676之間的數據總線采用數據緩沖器SN74LVC16245驅動。
3 基于Windows CE的AD7676驅動程序開發
    由圖3可知，AD7676被直接映射到S3C2440系統內存，所以其驅動程序采用單片式流接口設備驅動模型。同時當AD7676轉換結束后，采用中斷方式通知S3C2440讀取轉換結果，并啟動下一次轉換。AD7676驅動程序由內核部分和流接口函數部分組成。內核部分完成中斷的處理，包括中斷的使能、禁止、喚醒中斷服務線程等工作；流接口函數完成AD7676的打開、關閉、初始化以及數據的讀、寫操作。
3.1 內核部分
    系統硬件電路采用中斷方式對AD7676進行數據的讀取，以提高S3C2440的使用效率。Windows CE對中斷的響應過程如圖4所示[3]。

    參照時序圖，修改Windows CE中與中斷相關的內核文件，完成物理中斷到邏輯中斷的映射。主要工作如下：(1)修改oalintr.h文件，完成中斷向量的注冊；(2)修改cfw.c文件，完成中斷允許、中斷禁止和中斷完成操作。經過修改Windows CE內核文件，完成物理中斷Eint0到邏輯中斷號SYSINTR_ADC的映射，就可以利用Windows CE提供的API函數完成物理中斷Eint0的操作。
3.2 流接口函數
    Windows CE流接口驅動程序是動態鏈接庫，由設備管理器統一加載、管理和卸載。在Windows CE中，流接口函數一共有10個，所開發的驅動程序采用了其中的7個接口函數：AD7676_Deinit、AD7676_Init、AD7676_Open、AD7676_IoControl、AD7676 _Read、AD7676 _Write、AD7676_Close。
    流接口函數需要完成兩個主要方面的工作：AD7676數據結構的建立、流接口函數代碼的實現。其中AD7676初始化、中斷服務程序最為重要。
    (1)PADC_CONTEXT AD7676_Init(LPCTSTR pContext，LPCVOID lpvBusContext)
    AD7676_Init接口函數在驅動程序加載時，由設備管理器調用，主要完成硬件初始化，如映射設備物理內存、配置相關寄存器、創建中斷事件、中斷服務線程等工作。
    AD7676_Init接口函數按照圖5所示調用順序完成驅動的初始化工作。調用成功后，將返回AD7676數據結構的首地址[4]。

    (2)中斷服務線程AD7676_ISR
    AD7676_ISR中斷服務線程是中斷處理的核心部分，負責將緩沖區中的數據讀至系統內存[3]。
    DWORD AD7676_ISR(PVOID pContext){
        PHW_INDEP_INFO pHead=(PHW_INDEP_INFO)
pContext；
        ULONG WaitReturn；
        While(!Done()){
            WaitReturn=WaitForSingleObject((PHW_INDEP_
INFO)pContext，INFINITE)；
            if(WaitReturn==WAIT_OBJECT_0){
                ……//讀取AD7676轉換后的數據
                InterruptDone(pHead->dwIntID)；
            }
        }
        return 0；
    }
4 定性分析應用實例
    利用此方案設計的便攜式EDXRF光譜儀對某被測樣品進行了定性分析。圖6所示為該被測樣品經過光滑、扣背景后的譜線，圖中標出了Ni的Kα線與Kβ線、Au的Lα線與Lβ線。

    表1為對圖6譜線經尋峰、能量刻度后，計算獲得的被測樣品中元素已知能量值與測量值的對比。

    從表1元素已知能量值與測量值之間的相對誤差可以看出，使用此方案獲得的譜線經過光滑、扣背景、尋峰、能量刻度后，完全能達到定性分析的要求。
參考文獻
[1] 楊明太.X射線熒光光譜儀的現狀[J].核電子學與探測技術，2006，26（6）：1025-1029.
[2] 16 Bit，±1 LSB INL，500 kS/s，Differential ADC AD7676 [EB/OL].http：//www.analog.com/，2002.
[3] 金振興.基于S3C2410作業環境監測系統的設計[J].機械制造及其自動化，2007(6)：121－122.
[4] 周怡君，金振興.基于Windows CE.net的AD7854驅動開發［J］.機械制造及其自動化，2008(7)：76－79.
[5] 張林艷.能量色散X射線熒光光譜背景扣除方法的探討[J].分析試驗室，2009(12)：111-114