| 基于DSP增益可控的光刻機測高電路的設計研究 | |
| 所屬分類：技術論文 | |
| 上傳者：aetmagazine | |
| 文檔大小：491 K | |
| 標簽： 激光三角法 線陣CCD 數字信號處理器 | |
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| 文檔介紹：介紹了激光三角法高度測量技術和基于數字信號處理器DSP與線陣CCD的激光高度測量系統。采用比例恒流源和鏡像恒流源組合，設計了輸出功率穩定可調的激光二極管驅動電路和線陣CCD的驅動電路，借助DSP定時器周期調節靈活的優點，方便地調節光積分時間來提高信號質量。針對光刻工藝中不同的測量對象表面的光學特征，自動進行激光二極管增益控制和光積分時間調節，提高測量的適應性和測量效率。 | |
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